PT100 壓力變送器利用壓阻式壓力傳感器，來檢測介質的壓力變化，并將壓力轉換為電信號輸出；可測量氣路盤、工藝腔和傳輸腔等位置的壓力變化；廣泛應用于集成電路、封裝、半導體照明、功率半導體、化合物半導體等領域。
創新點
采用32位MCU進行設計
數字電路控制
兩路壓力報警信號輸出
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體照明
功率半導體
化合物半導體
技術指標
| 型號 | PT100 |
| 量程 | -14.7～15psi/-14.7～100psi/0～17.5psi和-0.1～1MPa |
| 精度 | ±0.5% F.S. |
| 漏率 | <1x10-9atm.cc/sec He |
| 溫漂系數 | 0.1 %F.S./℃ |
| 運行溫度范圍 | 0 ～ 80℃ |
| 耐壓極限 | 額定壓力的2倍 |
| 爆破壓力 | 額定壓力的5倍 |
| 工藝側材料 | 316L SEMI F20/鎳基合金 |
| 供電電壓 | 24V±10%VDC |
| 輸出 | 0~10V/4-20mA |
| 濕節點輸出規格 | 2路PNP或NPN(24V/高阻) |
| 電氣接口 | Molex1625-6P1/散線 |
| 機械接口 | 1.125“C-seal/1.125“W-seal/4VCR/KF16 |
| 使用壽命 | >1×106 cycles |
| C E 認 證 | 設計滿足EN61326-1 |
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