VS100 真空壓力開關(guān)利用壓阻式壓力傳感器，來檢測(cè)介質(zhì)的壓力變化，與預(yù)設(shè)的壓力動(dòng)作點(diǎn)進(jìn)行比較，將壓力轉(zhuǎn)換為開關(guān)量信號(hào)。應(yīng)用于集成電路、封裝、半導(dǎo)體照明、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域。
創(chuàng)新點(diǎn)
動(dòng)作壓力點(diǎn)可設(shè)定有效減少物料種類和客戶庫存品類
精度高
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體-封裝
半導(dǎo)體照明
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | VS100 | |
| 量程及壓力動(dòng)作點(diǎn)設(shè)定 | 量程 | 壓力動(dòng)作點(diǎn)設(shè)定 |
| 絕壓750Torr | 75～735Torr | |
| 絕壓1000Torr | 20～990Torr | |
| 表壓-750～750Torr | -150～110Torr | |
| 注：壓力動(dòng)作點(diǎn)設(shè)定值一般為1%*FS～99%*FS | ||
| 默認(rèn)設(shè)置 | 通用型號(hào)默認(rèn)為：上限報(bào)警，動(dòng)作點(diǎn)99%FS, 遲滯2%FS。 設(shè)定時(shí)，需使用供應(yīng)商提供的專用軟件及線纜。 | |
| 精度 | ±0.5%FS | |
| 漏率 | <1x10-9atm.cc/sec He | |
| 溫漂系數(shù) | 0.1% FS/℃ | |
| 運(yùn)行溫度范圍 | 0～80℃ | |
| 耐壓極限 | 額定壓力的2倍 | |
| 爆破壓力 | 額定壓力的5倍 | |
| 工藝側(cè)材料 | 316L Ss SEMI F20/Hastelloy C-276 | |
| 供電電壓 | 24V±10%VDC | |
| 輸出 | 無源觸點(diǎn)繼電器輸出(1NO,1NC) 不上電時(shí)，NO為打開，NC為關(guān)閉 | |
| 電氣接口 | 散線/DB9 male | |
| 動(dòng)作點(diǎn)設(shè)置方式 | 出廠前設(shè)定/客戶端設(shè)定 | |
| 接口類型 | 1.125“C-seal/1.125”W-seal/4VCR/KF25(NW25)/KF16 | |
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