射頻電源是一種能夠產生固定頻率正弦波或脈沖電壓的電源設備，其工作頻率位于射頻范圍內，并具有一定的功率輸出能力。13MHz BGP系列射頻電源，工作頻率13.56MHz，可輸出額定功率范圍1500W~6000W。
創新點
CEX功能
選頻/掃頻功能
HALO功能
Dual-Level功能
Ramp功能
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體照明
半導體-微機電系統
功率半導體
化合物半導體
技術指標
| 技術參數 | BGP1513 | BGP3013 | BGP6013 | |
| 功率范圍 | 15W~1500W | 30W~3000W | 60W~6000W | |
| 頻率 | 13.56MHz | |||
| 供電要求 | 三相208V，50/60Hz AC input | |||
| 脈沖功能是否支持 | 支持 | |||
| 輸出阻抗 | 50Ω | |||
| 輸出精度 | 功率精度：≤3W； | 功率精度≤6W； | ||
| 冷卻方式 | 風冷+水冷3/8" NPT cooling water interface； |
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| 供電接頭 | harting | |||
| 輸出接頭 | HN(Female) | |||
| 電源尺寸 | half rack | full rack | ||
| 通訊接口 | RS232、RS485、EtherCAT | |||
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