2MHz BG系列射頻電源，為連續波射頻電源，工作頻率范圍在1.765 MHz～2.165 MHz 具備選頻功能，50Ω負載下，滿足輸出1250W、1500W、3000W額定功率，功率精度≤±1%，由供電部分、射頻部分和控制部分組成，散熱方式為水冷和風冷。
創新點
豐富靈活的波形控制功能
AFT、DFT掃頻技術
脈沖掃頻技術
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體照明
半導體-微機電系統
功率半導體
化合物半導體
技術指標
| 產品型號 | BG1202 | BG1502 | BG3002 |
| 工作頻率 | (1.765-2.165MHz)± 0.005% | ||
| 頻率模式 | 固定頻率、選頻 | ||
| 脈沖模式 | 無 | ||
| 調節模式 | FWD | ||
| 輸出功率 | 1250W | 1500W | 3000W |
| 輸出功率精度 | ≤±1%或1.5W | ≤±1%或3W | |
| 輸出阻抗 | 50Ω | ||
| 供電電壓 | 3相208V±10% 50/60Hz | 3相480V±10% 50/60Hz | |
| 輸出接口 | N Female | HN Female | HN Female |
| 響應時間 | 射頻響應時間≤100ms | 射頻響應時間≤ 100 ms | |
| 工作模式 | CW | ||
| 脈沖同步 | 無 | ||
| 通信接口 | Analog port、RS232/485 | Analog port、RS232/485、DeviceNet | |
| 諧波抑制 | ≤－45dBc | ≤－45dBc | ≤－45dBc |
| 冷卻方式 | 水冷+風冷 | 水冷+風冷 | 水冷+風冷 |
| RAMP功能 | 無 | ||
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